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四路高温真空CVD涂层设备

四路高温真空CVD涂层设备

四路高温真空CVD涂层设备

四路高温真空CVD设备由滑动式快速退火男女野战视频+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计

产品概述:

        四路高温真空CVD设备由滑动式快速退火男女野战视频+真空系统+供气系统组成 ,最高温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行精确的混气,然后导入到男女野战视频内部。 KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。

适用范围:

       四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。

标准配件:

气炼石英炉管

4路质子流量计

热电偶

气炼石英炉管×1

浮子混气系统×1

真空系统×1

高温手套

坩埚钩

热电偶

高温手套×1

坩埚钳×1

热电偶×1

刚玉坩埚

炉塞

马弗炉中文说明书

刚玉坩埚×2

炉塞×2

中文说明书×1

注:炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

产品名称

四路高温真空CVD设备

产品型号  

PT-T1200-S60K-4C

工作温度         

1100℃(可选)

最高温度

1200℃(最高可选1700℃)

加热  区

三温区(可定制)

加热区长度                          

200+350+200mm(可根据需求定制)

加热速率

建议:0- 10°C/min {最大:0-20℃/min}

温控精度

±1℃(具有超温及断偶报警功能)

加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

加热速率

0~20 ℃ / 分

工作电压                       

220V,50HZ,单相

功         率

4KW

控温方式

智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

质子流量计  

4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制。 MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm MFC 4范围: 0~500 sccm 。
 气路:4路 流量精度: 0.2% 进气和出气接口: 1/4" 卡套 一个混气罐。 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。

电气认证

CE认证

售后服务

12个月质保、终身保修

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